エッチング技術

PVDコーティング技術

物理蒸着（PVD）技術とは、真空条件下で物理的方法を用いて、材料源（固体または液体）の表面を気化させて気体状の原子または分子にしたり、部分的にイオン化させてイオンにしたりし、低圧ガス（またはプラズマ）プロセスによって基板表面に特定の機能を持つ薄膜を堆積させるプロセスを指します。PVDは主要な表面処理技術の一つです。

複合コーティング技術：アークスパッタリング技術とマグネトロンスパッタリング技術の利点を同一の蒸着源で組み合わせた技術。