OPT-S 1700 – マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置
15 +
経験年数
700 +
世界各地に設置
OEM
利用可能なソリューション
30 +
国と地域
8つのスパッタリング源
OPT-S 1700は、平面型または円筒型のスパッタリング源を選択できる8つのスパッタリング源を備えています。
オンライン光学モニタリング
この光学モニタリングシステムは、多層膜のリアルタイムスペクトルモニタリングと成膜終点制御を提供する。
遊星歯車による工作物の動き
ワークピースの回転と旋回は、光多層膜成膜時の膜厚分布を安定させる。
高密度光学フィルム
スパッタリング法は、吸収損失と散乱損失の少ない、緻密で密着性の高い薄膜の形成を可能にする。
- 有効塗装面積：Φ940×H1200mm
- Φ1200 × H1900 mm チャンバー
- Φ170 × 12 シャフト ワークピースキャリア仕様
- 8つのスパッタリング源
- 6つの分子ポンプ
- タッチスクリーンとPLC制御
モデル | OPT-S 1700 |
| コーティング技術 | マイクロ波スパッタリング |
| エッチング技術 | イオン源エッチング |
| 基板材料 | ガラス、結晶性材料、ポリマー、セラミックス、金属 |
設備構成 | 一体型垂直システム、側面開閉式ドア、2つの観察窓 |
ワークピース搬送動作 | 垂直遊星円筒形ワーク搬送システム |
動作温度 | 室温から300℃まで調節可能 |
究極の掃除機 | 8 × 10⁻⁵ Pa（無負荷、クリーンルーム条件） |
| 制御モード | 手動／半自動／全自動；タッチスクリーン＋PLC |
| プロセスガス | アルゴン、窒素、酸素、アセチレン |
| 光学的モニタリング | オンライン光学監視システム（OMS） |
| 分子ポンプ | 6 |
| 機器の寸法（長さ×幅×高さ） | 長さ4.0m × 幅2.1m × 高さ3.1m |
OPT-S 1700光学コーティング装置に関する情報（コーティングプロセス、用途、仕様など）をご覧ください。
お問い合わせ 1. OPT-S 1700光学コーティング装置は何に使用されますか？
OPT-S 1700は、マグネトロンスパッタリング光学コーティングシステムであるOPT-Sシリーズに属します。主な用途としては、光学レンズ、自動車用パネル、ディスプレイ画面、LiDAR、ヘッドアップディスプレイなどが挙げられます。
2. OPT-Sシリーズにはどのような基材とコーティングが使用可能ですか？
基板材料としては、ガラス、結晶性材料、ポリマー、セラミックス、金属などが挙げられます。コーティングの種類としては、カットオフフィルター、バンドパスフィルター、RGBフィルター、反射防止膜（AR）、ハード反射防止膜（AR）、赤外線反射防止膜（IR-AR）、高反射膜（HR）、反射防止膜（AS/AF）、ITOなどがあります。
3. OPT-S 1700のチャンバーサイズと有効コーティング面積はどれくらいですか？
チャンバーの寸法はΦ1200×H1900mmです。有効コーティング面積はΦ940×H1200mmです。これらは別個の仕様です。
4. OPT-S 1700にはスパッタリング源がいくつありますか？
OPT-S 1700には、8種類のスパッタリング源が搭載されています。平面型と円筒型のソース構成はオプションとして選択可能です。
5. 記載されているワークピースキャリアの構成は何ですか？
記載されているワーク搬送装置の仕様は、Φ170×12軸で、必要に応じて調整可能です。このシステムは、垂直遊星円筒形ワーク搬送装置を使用しています。
6. 光学多層膜はどのようにモニタリングされるのですか？
OPT-Sシリーズは、リアルタイムのスペクトルモニタリングと成膜終点制御のために、オンライン光学モニタリングシステムを採用しています。キャリアの回転と旋回により、膜厚分布の調整が可能です。
7. OPT-S 1700の動作温度と寸法を教えてください。
動作温度は室温から300℃まで調整可能です。装置の寸法は長さ4.0m×幅2.1m×高さ3.1mです。