華昇マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置は、ガラス、結晶材料、ポリマー、セラミック、金属上に光学的および機能性薄膜を成膜します。
OPT-S 800、OPT-S 1500、OPT-S 1700、OPT-S 1800の光学コーティング装置は、AR、HR、光学フィルター、およびその他の文書化されたフィルムタイプに対応しており、有効コーティング面積と光源構成が異なります。
これらの光学コーティングシステムは、マグネトロンスパッタリング、イオン源エッチング、光学モニタリング、および遊星式ワークピース移動を組み合わせて、多層コーティングプロセスを実現します。
マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置とは？
マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置は、プラズマを用いてターゲットから粒子を放出し、基板上に堆積させます。アルゴンイオンがターゲットに照射され、磁場が電子を表面付近に閉じ込めることで放電を促進します。OPT-Sシリーズは、この成膜プロセスにイオン源エッチング、光学モニタリング、回転式ワークピースキャリアを組み合わせたものです。対応可能な膜の種類には、AR、ハードAR、IR-AR、HR、カットオフフィルター、バンドパスフィルター、RGBフィルター、AS/AF、ITOなどがあります。
なぜ華昇なのか？
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15年以上
技術的専門知識
華昇は15年以上にわたる技術蓄積に基づき、真空コーティング装置およびコーティングプロセスの研究開発、製造、応用に注力しています。 -
120歳以上
知的財産権
華昇は、コーティング装置の革新とプロセス開発を支える120件以上の知的財産権を保有し、独立した研究開発能力の強化を継続しています。 -
30,000平方メートル以上
製造センター
大規模な生産・製造拠点は、機器の組み立て、品質管理、配送能力、および長期的な顧客サービスを支える。 -
150セット以上
先進的なPVD装置
華昇は、150台以上の高度なPVD装置を保有するオリジナルメーカーとして、コーティングプロセスの検証と産業用途の開発を支援しています。
OPT-S光学コーティング装置、フィルムの種類、基板材料、モデルの違い、装置構成に関する情報をご覧ください。
お問い合わせ 1. マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置は何に使用されますか？
OPT-Sは、適切な基板上に光学的および機能性薄膜を成膜します。OPT-Sの用途としては、光学レンズ、自動車用パネル、ディスプレイ画面、LiDARおよびHUDコンポーネントなどが挙げられます。
2. OPT-S装置はどのようなコーティングを製造できますか？
記載されている製品範囲には、カットオフフィルター、バンドパスフィルター、RGBフィルター、ARコーティング、ハードARコーティング、IR-ARコーティング、HRコーティング、AS/AFフィルム、ITOフィルムが含まれます。必要なフィルム設計は、プロセス構成に合わせて選択する必要があります。
3. どのような基板材料が使用されていますか？
OPT-Sの資料には、ガラス、結晶材料、ポリマー、セラミックス、金属が記載されています。モデルを検討する際には、基板の寸法と想定されるコーティングを合わせて考慮する必要があります。
4. 4つのOPT-Sモデルはどのように異なりますか？
OPT-S 800は、有効コーティング面積がØ650×H450mmで、スパッタリング源が4つあります。OPT-S 1500、1700、1800は、有効コーティング径がØ940mm、高さがそれぞれ1000mm、1200mm、1600mmで、スパッタリング源が8つあります。ポンプ構成と装置の設置面積も異なります。
5. 光学膜の厚さと分布はどのように制御されるのか？
本シリーズは、スペクトル測定と膜制御にオンライン光学モニタリングを採用しています。ワークピースキャリアの回転と旋回により、多層膜成膜時の膜厚分布を管理できます。
6. OPT-Sにはどのような構成オプションがありますか？
資料には、平面型または円筒型のスパッタリング源のオプションと、カスタマイズ可能なワーク搬送軸の数量が記載されています。また、タッチスクリーンとPLCシステムによる手動、半自動、全自動の操作方法も記載されています。
7. モデル選定と見積もりにはどのような情報が必要ですか？
基材、ワークピースの寸法、希望する積載方法、コーティングの種類、および多層膜の要件をお知らせください。また、設置可能なスペースも併せてご提示ください。これにより、関連するコーティング領域と装置の設置面積を検討することができます。