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LAS800——レーザーフィルター式アークコーティング装置

LAS800レーザーフィルターアークコーティング成膜システムは、高度な産業用途向けに開発された高性能表面処理ソリューションです。パルスレーザーとアーク技術を長方形の磁気フィルタートンネルと組み合わせることで、高品質の四面体アモルファスカーボン(ta-C)コーティングの成膜を可能にします。これらのコーティングは、超低摩擦係数、低表面粗さ、超高硬度、優れた耐摩耗性、強力な耐擦傷性を備え、製品の耐久性と耐用年数を大幅に向上させます。

LAS800の重要な技術的特徴は、同期レーザースキャンと磁場誘導によって実現される、アークスポットの動きの精密な制御です。パルスレーザーは、熱エネルギーを均一に分散させることでターゲットの過熱を効果的に防止し、大きな液滴の形成を最小限に抑え、滑らかで欠陥のないコーティング表面を保証します。この革新的なアプローチは、コーティングの純度を向上させるだけでなく、プロセスの安定性と再現性も高めます。

汎用性を重視して設計されたLAS800は、小型精密部品から大型ワークピースまで幅広くコーティングできるため、新エネルギー、スマートウェアラブル、家電製品、高精度加工などの業界に最適です。代表的な用途としては、燃料電池のバイポーラプレート、スマートリング、マイクロドリル、その他高性能と信頼性が不可欠な重要部品などが挙げられます。

    製品の利点

    パルスレーザーを使用してアークを点火する

    陽極の過熱を抑制し、溶融滴や大きな粒子の形成を抑制する。

    蒸発面積とアーク放電持続時間を制御可能

    高い成膜速度

    長方形の磁気フィルタリングチャンバー

    製品の特徴

    • 製品の特徴
      滑らかな表面
    • 製品の特徴
      硬度 5~60GPa
    • 製品の特徴
      コーティング厚さ:0.1~15μm
    • 製品の特徴
      均一堆積ゾーン H400mm*φ650
    LAS800

    PLDコーティングの利点

    • 表面粗さを改善する
    • 低摩擦・耐摩耗性
    • 熱安定性と高温硬度の向上
    • 高硬度と高延性
    PLDコーティングの利点
    • 抗酸化
    • 亀裂発生に対する耐性
    • 比較的高い硬度、低い表面粗さ、低い摩擦係数、高い耐摩耗性、高い熱安定性
    • 耐用年数を延ばす

    華昇ta-Cコーティングの特性

    PLDコーティングの利点(2)
    構造 物件
    多層構造 コーティングの厚さと密着強度を向上させる
    元素をドープ 内部ストレスを軽減する
    MS+レーザーアーク 表面均一性が高く、摩擦特性が向上し、耐用年数が10倍長くなります。
    コーティング 華昇ta-C
    カラフル
    厚さ/μm 0.1~0.5
    ナノ硬度/GPa 20-80
    残留応力/GPa -3±1
    成膜温度/℃
    抗酸化温度/℃ 500

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