HPC——内部表面コーティング機
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中空陰極放電技術を用いたPECVD -
厚さ2~30μm -
硬度 5~25GPa -
長さと内径の比率が高い(最大20:1)

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炭素系コーティング。密着性が低く、優れた防食性を有する。 -
多層構造による高硬度、低摩耗量、高せん断強度。 -
表面を滑らかにし、コーティング工程中に表面粗さを増加させないことで、管構造や流体流動状態の変化を効果的に回避します。

応用分野


先進技術
中空陰極放電技術を用いたPECVD


幅広いチューブサイズに対応
長さと内径の比率が高い(最大20:1)こと、およびチューブの長さが長い(最大3m)こと


幅広い性能調整機能
コーティングの厚さ、硬度、添加元素などを簡単に調整できます。


自動化機器
ソフトウェアは操作が簡単で、プロセスパラメータの調整も容易です。
チューブ内におけるDLCめっきの性能特性評価

内側のパイプは直径50mm×長さ50mmです。

内側のパイプは直径100mm×長さ250mmです。

内管は直径25mm×長さ200mmです。

表面粗さRaは0.1~0.2μmである。

難易度:5~10GPA

良好な接着性(HF2以下)

内側コーティングの厚さは2~30μmです。


HD500