HDシリーズステンレス鋼PVDコーティング機
アーク
✔ プラズマ陽極を最適化して膜性能を向上させる
✔ プラズマアシスト電源、高いターゲット材料利用率、低コスト
✔ カソード磁場の迅速な変更が可能で、さまざまなコーティング材料に対応
✔ 隠れたアーク始動構造、交換可能でメンテナンスが容易
HiPIMS&DCMS
✔ 複数のスパッタリングモードが、より多くの材料のニーズに対応します。
✔ 高い電離率と高い堆積率が同時に
✔ 液滴が少なく、表面が滑らか
✔ 内部応力が低く、接着性が向上します。
✔ フィルム硬度と応力調整の間の矛盾を解消しやすくする
| 名前 | パラメータ |
|---|---|
| コーティング技術 | 最新の複合コーティング技術 |
| エッチング | 側面イオン源（ホットフィラメント） |
| マルチアークソース（数） | 長さ3750×幅2400×高さ2500 |
| マグネトロンカソード（個数） | 6 |
| 機器のサイズ（mm） | 1 |
| チャンバー容積（m³） | 1 |
| 有効コーティング面積（mm） | Φ650 × 400 |
| 最高使用温度（℃） | 600℃ |
| 積載能力（樹木の数） | 10 |
| インサートの耐荷重（APMT1135） | 12000個 |
| ドリルの耐荷重（D4×50L） | 3600個 |
| 最大積載重量（kg） | 300 |
| シャフト径 | F130 |
| 処理時間 | AlTiN：6～8時間 |
ケース1：炭素鋼（P20）のフライス加工
| （ツールデータ）：OMPQ-4E-100 |
| （加工物）：P20 HRC32 |
| 切断データ 処理：
|
|
| データソース：ターミナルラボ |
HLM300 300分着用
競合製品：220分着用可能
ケース1：炭素鋼（P20）のフライス加工
| 切削工具：D6R3*9*50*d6 |
| 加工対象物：S136（硬度52HRC） |
| 状態：底面フライス加工
|
| 検査結果：
|
| データソース：華昇研究所 |
360分間側面摩耗（23μm）HDR
