DLCシリーズ——DLCコーティングマシン

耐摩耗性・耐摩擦性DLCコーティング成膜装置

華昇が独自開発したDLCシリーズ真空コーティング装置は、イオン源、マグネトロンスパッタリング（MS）、PECVD技術を統合し、ダイヤモンドライクカーボン（DLC）コーティングを高速成膜します。これらのコーティングは、高硬度、耐摩耗性、低摩擦性、耐腐食性、非粘着性など、優れた特性を備えています。

このシステムは、追加のイオン化源を必要としないシンプルなハードウェア設計を特徴としています。複合磁場設計によりイオン化効率が向上し、緻密で均一な膜構造を実現します。成膜速度は1μm/hを超え、生産性を大幅に向上させます。

低温（250℃未満）で動作するDLCシリーズは、アルミニウム合金や一部の鋼材など、熱に弱い材料に適しています。得られるコーティングは滑らかで、大きな粒子による汚染がなく、厳しい表面品質要件を満たします。

統合されたプラズマ洗浄機能により、外部メンテナンスが不要となり、システムの使いやすさとコスト効率が向上します。また、クリーンなプロセス環境と安定したコーティング性能も保証されます。