コーティングの進捗状況

一般的なPVDコーティングプロセス（7ステップ）

サンプルシステムをコーティングチャンバーにセットします。

PVDコーティングを施す際には、高真空が必要となります。華昇のコーティングシステムは2段階で行われます。まず、メカニカルポンプによって真空チャンバー内の圧力を1000mbarから10⁻¹mbarまで下げます。次に、ターボ分子ポンプによって約1×10⁻⁶mbarの高真空を作り出します。

チャンバーを約500℃まで加熱する。これは従来のプロセス温度である。

華昇のコーティングシステムは、HUASHENG®（横方向グロー放電）、アルゴンプラズマエッチング、グロー放電、金属イオンエッチング（Ti+、Cr+）という3種類の異なるエッチングプロセス技術を使用しています。

コーティングの成膜は、PVD（アークイオンプレーティング、マグネトロンスパッタリング、またはHUASHENG®統合カソード技術）を用いて行われます。

コーティングチャンバーを冷却する。

サンプルシステムをコーティングチャンバーから取り出します。

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